系统性能:
1、检测范围及检测限
产物种类 | 检测范围(µmol/mol) | 产物种类 | 检测范围(µmol/mol) |
H2 | 0.05-10000 | C3F8 | 0.05-10000 |
O2 | 0.05-10000 | SO2F2 | 0.1-10000 |
N2 | 0.05-10000 | SOF2 | 0.1-10000 |
CH4 | 0.05-10000 | SO2 | 0.1-10000 |
CF4 | 0.05-10000 | H2S | 0.1-10000 |
CO | 0.05-10000 | COS | 0.1-10000 |
CO2 | 0.05-10000 | CS2 | 0.1-10000 |
C2F6 | 0.05-10000 | NF3 | 0.05-10000 |
N2O | 0.05-10000 |
2、技术性能:
分析周期:<20min
大误差:<3%
稳定时间:<30min
工作环境:-10~50℃
3、温控指标:
控温范围:室温上8℃-399℃
控温精度:±0.1℃
程序升温阶数:8阶
程序升温速率:1℃-40℃
降温速度:7分钟以内(350℃-50℃)
检测器:室温上8℃-399℃ 精度±0.1℃
4、其他参数:尺寸、重量、电源
尺寸:宽655mm×高500mm×深480mm
重量:~48kg
电源:220V±22V,50Hz 功率:≥2kW